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准分子激光加工表面形貌分形参数表征研究

陈志新  刘莹  
【摘要】:论述了微摩擦对微机电系统的影响和微摩擦与表面形貌的密切关系,概述了分形的基本概念和两种常用的分形参数的计算方法,用结构函数法等分析了准分子激光加工的陶瓷表面是分形表面,用功率谱法计算了准分子激光加工的陶瓷表面轮廓的分维D,将计算所得的分形维数D与轮廓高度的算术平均值Ra值和均方根σ值加以比较,得出它们之间为非线性关系,并拟合出经验公式。为进一步研究准分子激光加工表面形貌的分形表征方法奠定了基础。

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