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功能陶瓷表面电泳抛光的实验研究

江亲瑜  张继和  
【摘要】:本文介绍了电泳抛光技术在功能陶瓷表面加工中的应用,并在自行改装的电泳抛光机上对半导体硅板进行了抛光试验,获得了电压、抛光间隙、抛光时间对抛光效率的影响规律,为电泳抛光技术的深入应用奠定了基础。

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1 江亲瑜;张继和;;功能陶瓷表面电泳抛光的实验研究[A];第七届全国摩擦学大会会议论文集(一)[C];2002年
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