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物理气相沉积TiN涂层的抗空蚀性能研究

潘国顺  邵天敏  王义民  
【摘要】:利用磁致伸缩振动空蚀试验装置,研究了45钢不同处理工艺、45钢表面离子镀 TiN 薄膜及磁控溅射 TiN 薄膜的抗空蚀性能,并分析了两种沉积工艺薄膜的空蚀机理。试验结果表明,涂层的空蚀性能与材料硬度及表面特征有关,磁控溅射 TiN 薄膜的抗空蚀性能优于离子镀 TiN 薄膜。

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