收藏本站
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

在c面蓝宝石上生长的InN外延薄膜中位错与极性的TEM研究

卢朝靖  李金华  段晓峰  
【摘要】:正有关 GaN 和富 Ga 的 InGaN 薄膜中的位错和极性已有 TEM 研究,而 InN 和富 In 的 InGaN 薄膜却少见报道。研究 InN 薄膜中的缺陷和极性对生长高质量的 InN 薄膜很有意义。本文用 TEM 研究在 c 面蓝宝石上分子束外延生长的 InN(760nm)/GaN (245nm)/AlN(14nm)薄膜中的穿透位错和极性。它们的取向关系为(0001)InN//(0001)GaN//(0001)

知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 СЕМИЛЕТОВС.А.ИТ.Д,赵旭霞;蓝宝石上氧化锌薄膜的取向[J];压电与声光;1979年02期
2 袁广江,卢玉华,罗积润,阎旭,吴尔生,郭和忠;蓝宝石输出窗的成功封接[J];真空科学与技术;2004年04期
3 尹悦;;激光用于LED制造[J];光机电信息;2011年01期
4 王艳艳;秦福文;马世猛;吴爱民;王叶安;;α-Al_2O_3上生长GaN过程中氮化的研究[J];红外与激光工程;2007年05期
5 王家源;;衬底材料述评:硅、蓝宝石、砷化镓[J];微纳电子技术;1984年02期
6 张凤翙;;用蓝宝石作屏幕材料可以改进发光特性[J];真空电子技术;1985年01期
7 YvonneA.Carts,李玲;硬质材料在红外应用中发挥作用[J];红外;1994年01期
8 卢朝靖;李金华;段晓峰;;在c面蓝宝石上生长的InN外延薄膜中位错与极性的TEM研究[J];电子显微学报;2006年S1期
9 佘觉觉,曹大年,王维明,昝育德,邓惠芳,王建华,郁元桓;蓝宝石-硅和尖晶石-硅界面层宽度的俄歇分析[J];半导体学报;1984年06期
10 ;台湾地区LED产业持续增长,原材料供应紧张影响有限[J];集成电路应用;2010年08期
11 ;LED厂商开启大晶圆时代[J];电子世界;2011年05期
12 师绍明;迴旋管用蓝宝石窗[J];电子与信息学报;1982年06期
13 刘景波;赵桂芬;王华英;王晓雷;;飞秒激光烧蚀石英玻璃所激发的内部应力波[J];光电子.激光;2011年06期
14 ;红外应用硬质材料的发展[J];激光与光电子学进展;1994年02期
15 ;很奢华,很给力 Vertu Ascent Ferrari 1947限量版[J];世界高尔夫;2011年03期
16 韩微微;杨松涛;高爱梅;;紫外激光在精细加工中的应用研究[J];电子工业专用设备;2011年03期
17 杜庆红,何力,袁诗鑫;MBE生长的p-Hg_(1-x)Cd_xTe外延薄膜变磁场下的Hall系数及电导率[J];半导体学报;1995年03期
18 徐冰,周建平,王益民,李传东,吴建光,张正泉,徐至展;自启动、低功率泵浦的自锁模Ti:蓝宝石激光器和它的高效连续运转[J];中国激光;1996年12期
19 冯丽萍,刘正堂,孙金池,崔虎;蓝宝石衬底上SiO_2薄膜的制备与光学性能[J];硅酸盐学报;2004年08期
20 杨非;齐宁华;孙忠良;;回音壁模高Q蓝宝石谐振器研究与设计[J];固体电子学研究与进展;2008年04期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 卢朝靖;李金华;段晓峰;;在c面蓝宝石上生长的InN外延薄膜中位错与极性的TEM研究[A];2006年全国电子显微学会议论文集[C];2006年
2 王芳;回长顺;刘涛;金玉竹;;蓝宝石平面元件加工工艺改进[A];2009年先进光学技术及其应用研讨会论文集(下册)[C];2009年
3 林保军;唐清;;关于晶体中螺位错的弱束衍衬像[A];第三次中国电子显微学会议论文摘要集(二)[C];1983年
4 刘维;李林;徐立华;胡文斐;赵新杰;;斜切基片上同质、异质外延薄膜的TEM研究[A];第十一次全国电子显微学会议论文集[C];2000年
5 陈振;刘祥林;王晓晖;陆大成;袁海荣;韩培德;汪度;王占国;;(1102)面蓝宝石衬底上生长氮化镓研究[A];2000年材料科学与工程新进展(下)——2000年中国材料研讨会论文集[C];2000年
6 吴孔平;顾书林;朱顺明;;Ga和Mn共掺ZnO薄膜的结构和光学特性[A];第十五届全国化合物半导体材料,微波器件和光电器件学术会议论文集[C];2008年
7 李亮;李忠辉;董逊;周建军;孔月婵;姜文海;陈辰;;Si掺杂对MOCVD生长的n型Al_(0.5)Ga_(0.5)N的影响[A];第十五届全国化合物半导体材料,微波器件和光电器件学术会议论文集[C];2008年
8 孙艳玲;孙国胜;刘肃;王雷;赵万顺;罗木昌;曾一平;林兰英;;蓝宝石(0001)衬底上p-3C-SiC欧姆接触的研究[A];2002年材料科学与工程新进展(下)——2002年中国材料研讨会论文集[C];2002年
9 何陵辉;;具有弹性盖层的应变合金外延薄膜组分演化[A];科技、工程与经济社会协调发展——中国科协第五届青年学术年会论文集[C];2004年
10 文建国;王仁卉;路钢华;;单晶硅中位错对CBED的零阶Laue带花样影响的实验观察[A];第五次全国电子显微学会议论文摘要集[C];1988年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 张岱宇;蓝宝石的冲击光辐射及其高压相图[D];西南交通大学;2008年
2 杨少波;半掺杂CMR锰氧化合物(块材及薄膜)的电、磁相结构研究[D];湖南大学;2006年
3 贾仁需;4H-SiC同质外延的表征及深能级分析研究[D];西安电子科技大学;2009年
4 姚然;MOCVD异质外延硅基ZnO和SiC薄膜及其特性研究[D];中国科学技术大学;2007年
5 孔令沂;镓铟氧化物薄膜和氧化锡薄膜的制备与性质研究[D];山东大学;2011年
6 王超营;硅锗异质结构中部分位错演化的分子模拟[D];哈尔滨工业大学;2009年
7 彭冬生;基于预处理衬底GaN外延生长及器件研究[D];中国科学院研究生院(西安光学精密机械研究所);2007年
8 潘杨;分子束外延生长InN薄膜和纳米结构及物性研究[D];武汉大学;2011年
9 张源涛;ZnO薄膜和MgZnO合金薄膜的生长及其特性研究[D];吉林大学;2005年
10 郭锐;飞秒激光微纳加工系统及功能器件工艺研究[D];中国科学技术大学;2008年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 曾兆权;射频等离子体辅助分子束外延(rf-MBE)制备高质量ZnO薄膜研究[D];曲阜师范大学;2004年
2 张永华;碳化硅宽带隙半导体薄膜的异质外延生长技术及其结构性质分析[D];西安电子科技大学;2002年
3 杨广武;射频等离子体辅助分子束外延生长高质量Zno薄膜研究[D];天津工业大学;2007年
4 张海亮;SAPMAC法蓝宝石光学窗口的辐照效应研究[D];哈尔滨工业大学;2007年
5 王飞;La_(0.70)Ca_(0.30)MnO_3薄膜微结构及电输运特性的研究[D];合肥工业大学;2007年
6 杜大超;N面GaN外延薄膜生长研究[D];西安电子科技大学;2011年
7 郭忠杰;硅基InN单晶薄膜的RF-MBE生长及其特性研究[D];吉林大学;2011年
8 王韬;X波段低相噪振荡器的研究[D];电子科技大学;2008年
9 刘佳磊;应变锗材料的制备及其表征[D];清华大学;2007年
10 金晶;脉冲激光沉积BiFeO_3铁电薄膜及其特性[D];华中科技大学;2007年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 ;蓝宝石将光技术带入芯片[N];中国计算机报;2002年
2 卢庆儒;高亮度LED制程发展趋势和高效率化技术[N];电子资讯时报;2007年
3 蒋琳殷范越;晶能光电——中国LED行业的新生力量[N];消费日报;2007年
4 张萍 记者 许明;LED蓝宝石项目拟落户金州新区[N];大连日报;2010年
5 首席记者 傅云;晶能光电争创世界一流[N];江西日报;2006年
6 郭宁刘毅 邬梦姣;“晶能光电”硅衬底发光二极管技术领先[N];消费日报;2008年
7 见习记者 覃秘;东晶电子携手浙江师大共同研发[N];上海证券报;2011年
8 奥言;摩托罗拉举行AURA手机鉴赏会[N];科技日报;2008年
9 王小龙;材料间纳米薄层可显著降低界面能[N];科技日报;2011年
10 记者 刘霞;高性能氮化镓晶体管研制成功[N];科技日报;2011年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978