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掺杂机制的电子能量损失谱(EELS)研究

张敬民  章新政  尤力平  俞大鹏  
【摘要】:正近年来宽禁带半导体的研究发展十分迅速。P 型掺杂及稀磁掺杂问题都是目前研究的热点。例如:氧化锌(ZnO)的 P 型掺杂,氧化锌、氮化镓的过渡金属元素掺杂等等。虽然实验上取得了一定的进展,但其掺杂机制并不十分清楚。尽管理论上已经有很多相应的掺杂模型,但如何从实验上确定实际样品中杂质原子所处的原子位置并不容易,因而理

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