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基于AFM的微结构加工实验研究

闫永达  孙涛  程凯  赵清亮  董申  
【摘要】:本文建立了微动工作台和原子力显微镜相结合的微加工系统,在该系统上采用金刚石针尖进行微加工实验,与 SPM 系统本身的刻划软件刻划出的图形进行了比较分析,得出这个系统适合微结构的加工;并给出了采用该方法加工的圆面及多边形面微结构;还分析了金刚石针尖几何角度及 SPM 和工作台的相关参数对加工的影响。

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