收藏本站
收藏 | 论文排版

加速器法沉积无氢类金刚石薄膜的性能与结构

王磊  黎晶  沈江立  杨雨时  
【摘要】:本文对用加速器法(CAD)在9Cr18不锈轴承钢上制备的无氢类金刚石膜(HFDLC)样品进行了显微硬度测试、摩擦磨损试验、激光扫描显微镜(LSM)观察和透射电镜(TEM)分析。试验结果表明用该工艺方法制备的 HFDLC 膜具有非晶态显微结构,硬度极高,摩擦磨损性能优异。

知网文化
【相似文献】
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 王磊;黎晶;沈江立;杨雨时;;加速器法沉积无氢类金刚石薄膜的性能与结构[A];1996年中国青年学者物理学讨论会——薄膜材料与物理论文集[C];1996年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978