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JSM—T_(300)扫描电镜物镜电路分析

刘跃华  刘伟  
【摘要】:正 扫描电镜的物焦镜距与加速电压和物镜电流有关。扫描电镜要求物镜电流具有较大的变化范围。T_300扫描电镜物镜电路如图所示。IC8为D/A转换器。波段开关S_3、二极管矩阵电路(D_10~D_27)、R_52~R_60、R_B_(23)组成了二进制码编码电路,为D/A转换器提供八位二进制码。D_8、R_(50)、IC9_1组成的电路为D/A转换器提供参考模拟电压V_REF。D_8(IS2192)的稳压值为8.2V,即A点的电压为8.2V。电压跟随器IC9_1输出的电压V_B=V_REF=V_A=8.2V。D/A转换器的输出电压Vout=-(V_REF/R_49)·R_51(A_8/2~1+A_7/2~2+A_6/2~3+A_5/2~4+A_4/2~5+A_3/2~6+A_2/2~7+A_1/2~8)。若当S_3的刀与第一掷相接时,D_10导通,D_11~D_27均不导通,D/A转换器的数字输入端A_8=0,A_7~A_1,均为1。因此D/A转换器的输出电压Vout=4V。D/A转换器的输入状态和输出电压与S_3对应关系如表1所示。从中可看到D/A转换器的输出电压范围为-4~-8.1V。D/A转换

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