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场发射电子枪第一阳极电源的研制

李普芳  胡问国  陈尔纲  
【摘要】:正 用场发射电子枪作为高分辨率扫描透射电子显微镜的电子源有亮度高、束斑小、能散度低等优点。本文的工作就是研制用于扫描透射电子显微镜的场发射电子枪的第一阳极电源V_i,对此我们做了以下工作。1.电源V_i控制着场发射电子枪的场致发射电子束流的大小。本文根据电子显微镜实际运用要求,从场发射理论出发。计算了电源V_i的各项指标,得出其输出电压为500→5000伏,输出电流为0→200微安,稳定度应优于9×10~(-4)。2.电源V_i为置于第二阳极电源V_0(-50kV)之上的一正高压直流电源。为了能在低压端调节置于高压V_0上的电源V_1的输出电压,并使之达到所需的稳定度,本文对现有资料文献进行了归纳和分析,根据差

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