W/C.Mo/Si,W/si,Pt/si多层膜热稳定性的电镜研究

【摘要】：正本文利用横截面电镜试样方法研究了W/C、Mo/Si、W/Si、Pt/Si四种多层膜的热稳定性。它们均生长在Si(100)衬底上,其周期数分别为125,65,288,35。透射电镜实验在H—800上进行。W/C多层膜有未退火,500℃,800℃退火0.5hr的样品,Mo/Si多层膜有未退火和500℃退火0.5hr的样品,W/Si多层膜有未退火和400℃退火0.5hr的样品,Pt/Si多层膜有未退火的样品。退火的真空度优于3×10~(-5)托。典型的衍射花样和明场像如图所示,根据衬未退火、W/Si多层膜的衍射花样及BF像。底单晶Si的衍射斑作内标可以精确地测定多层膜的周期,发现不同退火温度后其多层膜的周期不同。400℃退火后的W/

下载App查看全文

下载全文更多同类文献个人查重>>智能排版>>

PDF全文下载

CAJ全文下载

(如何获取全文？欢迎：购买知网充值卡、在线充值、在线咨询)

CAJViewer阅读器支持CAJ、PDF文件格式，AdobeReader仅支持PDF格式

	【相似文献】
	【相似文献】

中国期刊全文数据库

前20条

1	付轲;沈利燕;李丹丹;计剑;;双网络增强自支撑多层膜的制备[J];高分子学报;2011年08期
2	纪树兰;张国俊;;强化自组装技术在多层复合分离膜领域的应用[J];膜科学与技术;2011年03期
3	张玉梅;刘梅;于永生;王永红;李海波;费维栋;;FePt/Au多层膜的结构和磁性能研究[J];稀有金属材料与工程;2011年08期
4	刘志华;张希;;表面印迹交替层状组装薄膜[J];高分子学报;2011年09期
5	姜雪宁;孟昕;孟宪芹;张庆瑜;;不同周期数GDC/YSZ多层电解质薄膜的电学性能与结构稳定性[J];功能材料;2011年09期
6	张佳;张敏刚;;Sm-Co/α-Fe/Sm-Co周期多层膜的微磁学模拟[J];山西冶金;2011年03期
7	沈晓芳;陈沁;庞月红;崔燕;钱和;;碳纳米管/聚二烯丙基二甲基氯化铵/磷钼酸复合膜的组装及其在溴酸盐检测中的应用[J];中国科学:化学;2011年07期
8	林深;施源德;欧阳锐;郭春美;陈丽芳;;磷钨铁杂多酸/聚酰胺-胺复合膜的制备及电催化性能[J];复合材料学报;2011年04期
9	陈飞;陈家庆;陈良贤;李成明;;20CrNiMo钢表面磁控溅射制备TiN/ZrN多层薄膜的形貌及摩擦学性能[J];机械工程材料;2011年07期
10	罗贤;吕桂琴;;金属卟啉与Keggin型硅钨酸修饰电极的制备及电催化性能测定[J];无机化学学报;2011年09期
11	马现奇;尹红;袁慎峰;陈志荣;;氨基硅油柔软剂作用模型的研究进展[J];印染助剂;2011年08期
12	;[J];;年期
13	;[J];;年期
14	;[J];;年期
15	;[J];;年期
16	;[J];;年期
17	;[J];;年期
18	;[J];;年期
19	;[J];;年期
20	;[J];;年期

中国重要会议论文全文数据库

前10条

1	张广安;王立平;吴志国;王君;闫鹏勋;;Al／AlN多层膜的制备及摩擦磨损性能研究[A];第七届全国表面工程学术会议暨第二届表面工程青年学术论坛论文集（一）[C];2008年
2	孙一新;任科峰;竺磊泽;计剑;;电化学控制多层膜膜厚和粘弹性的研究[A];2011年全国高分子学术论文报告会论文摘要集[C];2011年
3	周丽梅;薛钰芝;钟金德;张兴寰;;Al/Al_2O_3多层膜的研究[A];2005'全国真空冶金与表面工程学术会议论文集[C];2005年
4	李戈扬;;纳米多层膜的共格外延生长特征与超硬效应[A];2004年中国材料研讨会论文摘要集[C];2004年
5	魏孔芳;王志光;臧航;卢子伟;姚存峰;盛彦斌;马艺准;申铁龙;庞立龙;朱亚滨;;金属多层膜的重离子辐照效应研究[A];第四届全国反应堆物理与核材料学术研讨会论文集[C];2009年
6	王勇;杨宏卫;周卫;张怀若;杨宇;;Ge/Si多层膜的低角X射线衍射研究[A];第四届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];2001年
7	辜敏;姚士冰;周绍民;;Co／Cu多层膜的电化学行为[A];第十三次全国电化学会议论文摘要集（上集）[C];2005年
8	王元生;;Ag/Ni纳米多层膜的点阵应变现象[A];第四届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];2001年
9	郝维昌;王天民;周春兰;魏龙;;慢正电子谱在自组装纳米多层膜研究中的应用[A];2004年中国材料研讨会论文摘要集[C];2004年
10	毛旭;周祯来;杨宇;;磁控溅射Ge/Si多层膜的喇曼谱研究[A];第四届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];2001年

中国博士学位论文全文数据库

前10条

1	安涛;TiN/SiN_x纳米多层膜的制备、表征及其断裂行为研究[D];吉林大学;2008年
2	刘毅楠;软X射线多层膜若干基础问题研究[D];中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;2000年
3	宋利民;软X射线多层膜反射镜的设计与制作[D];大连理工大学;2002年
4	白晓明;沉积条件对Ti/TiN，CrN/SiN_x纳米多层膜微观结构、界面结构和硬度的影响及其热稳定性[D];吉林大学;2006年
5	陈欢;分步自组装法构筑功能化多层超薄膜[D];吉林大学;2006年
6	李扬眉;蛋白质多层膜的自组装构筑及在生物传感器中的应用研究[D];浙江大学;2005年
7	康恩华;偶氮化合物层状薄膜的制备及其功能[D];吉林大学;2007年
8	孙俊奇;纳米结构三维组装与功能化研究[D];吉林大学;2001年
9	黄平;纳米晶巨磁光多层膜材料及应用研究[D];电子科技大学;2000年
10	吴文娟;极紫外和软X射线窄带多层膜的研究[D];同济大学;2007年

中国硕士学位论文全文数据库

前10条

1	刘慧慧;有机溶剂对基于卤键的层状组装影响及多层膜在溶剂中的稳定性[D];吉林大学;2010年
2	张继双;多酸阴离子/感光高分子纳米复合多层膜的制备、表征和光诱导相互作用研究[D];东北师范大学;2004年
3	李再轲;TbDyFe/Fe多层膜磁致伸缩及其与压电衬底的磁—电转换性能研究[D];中国人民解放军国防科学技术大学;2002年
4	王强;溶胶—凝胶法制备La掺杂钛酸铋薄膜和多层膜及其铁电性质研究[D];苏州大学;2004年
5	张力;金属/氧化物多层膜及新型光伏材料的研究[D];大连交通大学;2004年
6	林炳;软X射线多层膜膜厚分布均匀性控制研究[D];中国科学院研究生院（长春光学精密机械与物理研究所）;2002年
7	薛亚飞;Cu层厚度和制备条件对Fe_（40）Co_（60）/Cu/Ni自旋阀在不同应力下巨磁电阻的影响[D];首都师范大学;2008年
8	冯文;锰基钙钛矿三明治多层膜和金属颗粒膜的电磁输运行为研究[D];华中科技大学;2004年
9	张发荣;金属/氧化物与半导体/氧化物多层膜及光伏系统[D];大连交通大学;2005年
10	李健;离子注入NiFeCo/Ag非连续多层膜巨磁电阻效应的研究[D];广东工业大学;2002年

中国重要报纸全文数据库

前10条

1	记者于更生通讯员王铁林郝红军苗凤强;漫河西瓜多层膜上市早销售俏[N];河北经济日报;2008年
2	记者林玟均;乐都推广巢湖式多层膜温室技术[N];青海日报;2010年
3	山东省夏津县蔬菜局王德明;设施菜生产保温很关键[N];河北科技报;2007年
4	施伟;大棚遭寒袭五法巧应急[N];山西科技报;2007年
5	;NESO[N];中国计算机报;2002年
6	郝平;小小硬盘为何结缘诺贝尔？[N];计算机世界;2007年
7	;检测密封包装渗漏的方法[N];中国包装报;2007年
8	闵乃本;科学的春天带来阳光雨露[N];科技日报;2008年
9	记者梁红兵冯晓伟;TFT—LCD供应商发力中小尺寸市场[N];中国电子报;2007年
10	;纯平的超值享受[N];科技日报;2000年

	快捷付款方式		订购知网充值卡	订购热线	帮助中心
	微信支付支付宝银行卡	知网卡在线购卡更多>>	免费送卡上门银行汇款购卡邮局汇款购卡	400-819-9993 010-62982499 010-62783978	常见问题在线咨询阅读器下载	充值中心知网卡新手指南