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碳纳米材料及其在真空微电子器件中的应用

孙卓  陈奕卫  郭平生  陈婷  张哲娟  王莉莉  曹章轶  蔡炳初  徐东  
【摘要】:本文从碳纳米材料,特别是碳纳米管或纤维薄膜的的制备工艺、结构性能及其作为发射电子的冷阴极在场发射器件中的应用进行了综述。重点叙述了在新型平面显示器(FED)、节能光源、压力传感器、微波管等器件方面的应用。同时报道了新近研制成功场发射性能优异的高真空封装的FED原型器件,使研制实用化的FED取得了突破。

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