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利用静态膨胀法真空装置校准标准漏孔

王金锁  许红  唐景远  
【摘要】:本文介绍了利用静态膨胀法真空装置和残余气体四极质谱计校准标准漏孔的方法,通过试验数据完全符合压力和漏率的理论曲线关系,并给出了该装置测量范围(10-5-10-9)pa·m3/s,装置在校准10-7pa·m3/s的标准漏孔不确定度小于5%(k=2)。

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