收藏本站
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

制备工艺条件对薄膜微结构的影响

田光磊  邵建达  范正修  
【摘要】:本文中我们用不同的方法在石英玻璃、YAG晶体、K9玻璃和LiNbO3晶体等几种衬底上制备了ZrO2, HfO2和TiO2薄膜,HfO2薄膜利用电子束蒸发,离子辅助和离子束溅射三种方法沉积。其中的一些样品进行了不同温度下的退火。而后对所有的样品进行XRD测试,以获得不同条件下得到的薄膜的晶相及晶粒尺寸等薄膜的微结构。实验结果表明:各种薄膜的晶相结果晶粒尺寸强烈地依赖于沉积过程的技术参数,如衬底的种类,沉积温度,沉积方法和退火温度。我们利用薄膜生长机理和分子迁移率解释了不同技术条件下的晶相结构和晶粒尺寸不同的原因。

知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 邵胜子;陈泽祥;;用于X射线探测器的非晶硒薄膜的制备及其性能的研究[J];电子元器件应用;2011年08期
2 ;[J];;年期
3 ;[J];;年期
4 ;[J];;年期
5 ;[J];;年期
6 ;[J];;年期
7 ;[J];;年期
8 ;[J];;年期
9 ;[J];;年期
10 ;[J];;年期
11 ;[J];;年期
12 ;[J];;年期
13 ;[J];;年期
14 ;[J];;年期
15 ;[J];;年期
16 ;[J];;年期
17 ;[J];;年期
18 ;[J];;年期
19 ;[J];;年期
20 ;[J];;年期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 田光磊;邵建达;范正修;;制备工艺条件对薄膜微结构的影响[A];上海市激光学会2005年学术年会论文集[C];2005年
2 冯志庆;刘东平;牛金海;古建东;;射频等离子体FC薄膜沉积实验研究[A];第十三届全国等离子体科学技术会议论文集[C];2007年
3 罗震林;;同步辐射XRD研究外延BiFeO_3薄膜中应变诱导的类准同型相界行为(英文)[A];2011中国材料研讨会论文摘要集[C];2011年
4 宋党育;张晓逵;苏现波;张小东;;应用XRD对煤微晶结构的研究[A];基于瓦斯地质的煤矿瓦斯防治技术[C];2009年
5 王淑兰;赵丹;姚广春;李荣梅;侯敏俏;;XRD分析TiO_2对固相合成NiFe_2O_4反应动力学的影响[A];2010年全国冶金物理化学学术会议专辑(上册)[C];2010年
6 徐世友;张溪文;韩高荣;;石英衬底上的BP_xN_(1-x)薄膜沉积及P对其光学带隙调制研究[A];TFC’03全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2003年
7 尉震;白翠改;丛航;薛赛凤;陶朱;祝黔江;;瓜环与Mg-Al-LDHs复合材料的合成及XRD表征[A];中国化学会全国第十三届大环化学暨第五届超分子化学学术讨论会论文选集[C];2006年
8 张殿英;耿后安;高良豪;任晓丹;杨瑞霞;李萍;;烧结矿中亚铁的X射线定量分析[A];山东省金属学会理化检验学术委员会理化检验学术交流会论文集[C];2009年
9 安高军;柴永明;张传粉;钟海军;刘晨光;;四硫代钨酸铵在氢气气氛下热分解机理的研究[A];中国化工学会2005年石油化工学术年会论文集[C];2005年
10 徐晔;蔡珣;陈秋龙;沈耀;;氮气分压对直流磁控溅射Ti-Si-N膜的影响[A];第六届全国表面工程学术会议暨首届青年表面工程学术论坛论文集[C];2006年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 郑遗凡;XRD微结构分析在氨合成熔铁催化剂和纳米材料中的应用研究[D];浙江大学;2007年
2 叶剑;Mn掺杂Ⅳ族稀磁半导体的X射线吸收谱学研究[D];中国科学技术大学;2009年
3 叶发兵;尿素对磺酰脲除草剂在三种土壤矿物上的吸附及与过氧化氢酶相互作用的影响[D];华中农业大学;2008年
4 姜泳;Si基稀磁半导体的X射线吸收谱学研究[D];中国科学技术大学;2009年
5 田保;牙科低金含量银钯合金基础研究[D];四川大学;2006年
6 黄宝旭;氮、铌合金化孪生诱发塑性(TWIP)钢的研究[D];上海交通大学;2007年
7 毕剑;钼酸盐系列薄膜的电化学制备及特性研究[D];四川大学;2005年
8 娄豫皖;金属氢化物—镍电池正负极活性物质微结构的XRD研究[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2007年
9 张天林;纳米压入技术中基底和针尖效应的研究[D];中国科学技术大学;2008年
10 苏宁宁;高压下Fe_3O_4纳米粉、FeSe和α-FeOOH粉末的结构和电输运性质研究[D];吉林大学;2012年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 陈能展;用于甲烷催化燃烧金属基结构化催化剂制备及性能研究[D];北京化工大学;2005年
2 邓炯;氮离子注入两种新型钛合金的表面改性研究[D];四川大学;2005年
3 魏娜然;新金刚石晶体结构及电子结构的第一性原理研究[D];大连理工大学;2006年
4 秦华;以煤矸石为原料制备沸石基吸附剂[D];黑龙江大学;2005年
5 邓苗;川西微晶白云母加热变换过程研究[D];成都理工大学;2006年
6 伍泽广;焦炉用优质硅砖的试验研究[D];湖南科技大学;2008年
7 孟春站;氮化镁粉末的制备及性质研究[D];山东大学;2009年
8 钱丽英;Al-Cu-Fe纳米准晶材料的制备和结构研究[D];河海大学;2006年
9 顾晓清;对用于互连线的铜脉冲电镀沉积层的研究[D];复旦大学;2008年
10 鲍军委;两种新型钛合金氧化膜的表面分析[D];四川大学;2005年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 本报记者  任荃;为城市创新注入“活力因子”[N];文汇报;2006年
2 王流林陈燕 本报记者 丁秀玉;人才:企业发展之魂[N];科技日报;2007年
3 赵鹤茂;传呼光与电[N];常州日报;2008年
4 饶兴鹤;三大电子工业气体需求激增[N];中国化工报;2008年
5 美国环球仪器公司中国/香港总经理 李林炎;CSP最怕什么?[N];中国电子报;2000年
6 许玫;多元化:春兰走向国际化的必由之路?[N];中国机电日报;2002年
7 张建新;我研发出铜铟硒太阳能电池组件[N];中国化工报;2009年
8 记者刘其丕;铜铟镓硒薄膜太阳电池研发获新进展[N];中国有色金属报;2009年
9 耀文;天津铜铟镓硒太阳能电池组件制成[N];中国电子报;2009年
10 林德电子亚洲太阳能市场发展部经理 陈慧玲;气体供应对硅薄膜电池制造及成本控制至关重要[N];中国电子报;2009年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978