基于电化学MEMS技术制备具有高堆积密度微型温差电池
【摘要】:提出了一种具有高堆积密度的新型结构微型温差电池,它由大量相互间以电串联的方式相连接的n型和p型薄膜温差电腿构成。采用电化学MEMS技术制备出了2个具有这种新型结构的微型温差电池。这两个微型温差电池的尺寸均为25mm(长)×4mm(宽)×lmn(厚),其中集成了160对温差电腿,但温差电腿的尺寸不同,分别为3.6mm(长)×0.4mm(宽)×20μm(厚)和3.6mm(长)×0.4mm(宽)×50μmn(厚)。这两个微型温差电池在室温、20K温差条件下的开路电压、最大输出功率以及对应的功率密度分别为630mV、35μW、357μW·cm~(-3)和660mV、77μW、770μW/cm~3。这表明,电池中薄膜温差电材料的厚度对电池性能有着重要影响。
|
|
|
|
1 |
贾法龙,王为,赵秉英,张建中;新型微温差电池的设计[J];电源技术;2004年09期 |
2 |
朱华;赵淳生;;微型旋转超声电机的发展和现状[J];压电与声光;2005年06期 |
3 |
张秀兰;新型温差发电组件的研制[J];电源技术;2005年02期 |
4 |
冯勇建;;静电驱动的MEMS可变电容器[J];仪表技术与传感器;2007年02期 |
5 |
刘本东;李德胜;杨晓波;;一种单稳态微电磁继电器的研究[J];光学精密工程;2007年04期 |
6 |
姜政;丁桂甫;王艳;张东梅;王志明;冯建智;;扭梁悬臂梁支撑的扭摆式MEMS永磁双稳态机构[J];半导体学报;2006年01期 |
7 |
唐彬;温中泉;温志渝;董媛;;基于振动式发电机的微型驻极体研究[J];传感技术学报;2008年02期 |
8 |
孙永杰;面向21世纪的微型机电系统技术[J];中国青年科技;1997年01期 |
9 |
朱俊华,丁衡高,叶雄英;一种微型隧道效应磁强计的设计[J];仪表技术与传感器;2000年08期 |
10 |
梁晋昌;宋永刚;秦会峰;孟庆森;;金属与陶瓷阳极连接高压脉冲电源的设计[J];机械管理开发;2007年01期 |
11 |
王涛;王晓东;王立鼎;;压电陶瓷快速响应特性与应用研究[J];传感技术学报;2009年06期 |
12 |
任万滨,翟国富,李德胜,肖伟耀;MEMS技术在微型电磁继电器应用中的探讨[J];机电元件;2004年03期 |
13 |
张宇峰,张鹏飞,李德胜,王东宏;基于MEMS技术的微型电磁继电器的研究[J];仪器仪表学报;2001年S1期 |
14 |
李普;;微机电系统中基于模态展开和边界元法的静电-结构耦合高效分析方法[J];机械工程学报;2006年07期 |
15 |
黄正;王庚林;;国外对宇航用射频MEMS开关的研究[J];机电元件;2009年02期 |
16 |
谌贵辉,张万里,彭斌,蒋洪川;微执行器驱动机理研究[J];微特电机;2004年07期 |
17 |
陈光焱;郑英彬;赵龙;武蕊;;四个余弦形悬臂梁支撑的惯性力致动双稳态开关[J];传感技术学报;2006年05期 |
18 |
黄正;;国外MEMS继电器的发展[J];中国电子科学研究院学报;2008年05期 |
19 |
胡志军;陈迪;黄闯;陈翔;朱军;刘景全;;一种新型的电热驱动MEMS微继电器的研制[J];传感技术学报;2009年12期 |
20 |
谢克文,王晓红,姜英琪,刘理天;基于MEMS技术的微型燃料电池的制作[J];微细加工技术;2004年03期 |
|