超级化学镀铜沉积机理的研究

【摘要】：正大马士革铜互连线已经广泛的应用于超大集成电路铜互连线的制造过程。为了填充高深径比、直径在0.1微米左右的微孔,需要电镀铜在微孔底部的沉积速率大于在微孔开口处的沉积速率,即超级电化学沉积。然而,随着芯片的集成度越来越高,物理气相沉积(PVD)很难在微孔的底部形成连续的铜种子层,从而导致不完全填充。我们通过向化学镀铜溶液中添加以 SPS 为主要成分的添加剂,在世界上首次成功的实现了超级化学铜沉积。SPS 的主要作用为抑制化学铜在表面的沉积,从而增加了化学铜在微孔中的沉积速率。随后。韩国的 kim 报道,在未加其他任何添加剂的化学镀铜溶

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中国期刊全文数据库

前20条

1	朱昌;朱春燕;;磁控反应溅射沉积AlN薄膜的制备工艺[J];西安工业大学学报;2008年01期
2	杜平凡;席珍强;汪新颜;金达莱;王勇;;RF-PECVD法在钢衬底上沉积氮化硅薄膜的研究[J];功能材料;2008年03期
3	刘翠青;陈城钊;邱胜桦;吴燕丹;李平;余楚迎;林璇英;;衬底温度对纳米晶硅薄膜微结构的影响[J];材料研究与应用;2008年04期
4	邱清泉;励庆孚;苏静静;Finley Jim;;工作参数对平面磁控溅射系统沉积速率的影响[J];真空科学与技术学报;2009年01期
5	岑忞;章岳光;陈卫兰;顾培夫;;沉积速率和氧分压对HfO_2薄膜残余应力的影响[J];物理学报;2009年10期
6	卢宝文;徐学科;余祥;范正修;;不同沉积速率下热蒸发银膜的光学性能和结构分析[J];光学学报;2010年01期
7	林玉石;杨琰;张美良;覃嘉铭;舒丽;程海;冉景丞;康志强;;三论洞穴石笋沉积速率——以衙门洞一号石笋为例[J];西北地质;2011年01期
8	;气相覆盖碳化钛阶段实验小结[J];电瓷避雷器;1976年06期
9	赵焕庭,温孝胜,王丽荣;南沙群岛永暑礁环礁湖的沉积速率与气候变化[J];热带地理;2000年04期
10	占美琼,张东平,贺洪波,邵建达,范正修;电子束蒸发沉积工艺条件对ZrO_2薄膜性能的影响[J];中国激光;2004年11期
11	邢涛;王波;陈轶平;李国星;严辉;;磁控反应溅射制备择优取向氮化铝薄膜[J];物理实验;2005年12期
12	李勇;;化学复合镀(Ni-P)-CeO_2工艺的研究[J];电镀与环保;2006年01期
13	杨广舟;宣天鹏;王卫荣;;稀土La对电沉积Ni-P合金镀层工艺的影响[J];电镀与精饰;2006年02期
14	金桂;周继承;;射频磁控溅射SiO_2薄膜的制备与性能研究[J];武汉理工大学学报;2006年08期
15	李开华;罗江山;刘颖;唐永建;;泡沫镍制备中化学镀镍研究[J];强激光与粒子束;2007年07期
16	曾洪扬;曹珂;;日喀则群沉积厚度、沉积速率及剥蚀速率[J];成都理工大学学报(自然科学版);2007年05期
17	鹿芹芹;刘正堂;刘文婷;张淼;;射频磁控反应溅射制备HfO_2薄膜的工艺及电性能[J];西北工业大学学报;2008年02期
18	徐瑞东;王军丽;郭忠诚;王华;;工艺参数对Ni-W-P-CeO_2-SiO_2纳米复合薄膜材料微观组织及性能的影响[J];材料工程;2008年08期
19	伊廷锋;朱彦荣;周理;李鹏;Shu Jie;;Ce(SO_4)_2对化学镀镍液及镀层性能的影响[J];稀有金属快报;2008年11期
20	蔡宏中;胡昌义;陈力;王云;;金属有机化合物化学气相沉积法制备铱薄膜的研究[J];稀有金属;2009年02期

中国重要会议论文全文数据库

前10条

1	王增林;王秀文;刘宗怀;杨祖培;;超级化学镀铜沉积机理的研究[A];2007年上海市电子电镀学术年会论文集[C];2007年
2	徐艳月;张世斌;刁宏伟;王永谦;廖显伯;;氢稀释和频率对非晶硅沉积速率的影响[A];中国太阳能学会2001年学术会议论文摘要集[C];2001年
3	于伟东;廖家轩;夏立芳;柳襄怀;王曦;;磁控靶材料对极低气压下RF-UBM金属等离子体特性的影响[A];第四届华东真空科技学术交流展示会学术论文集[C];2003年
4	刘文婷;刘正堂;许宁;鹿芹芹;闫锋;;HfO_2薄膜的制备与光学性能[A];第六届中国功能材料及其应用学术会议论文集（1）[C];2007年
5	徐驰;王友军;束忠明;;坨面形状对CVD合成石英玻璃沉积速率的影响[A];2010全国玻璃技术交流研讨会论文集[C];2010年
6	沈峰;夏冬林;李蔚;赵修建;;沉积功率对多晶硅薄膜结构和光学性质的影响[A];中国硅酸盐学会特种玻璃分会第三届全国特种玻璃会议论文集[C];2007年
7	汪亚平;;胶州湾的沉积速率[A];第十三届中国海洋（岸）工程学术讨论会论文集[C];2007年
8	王豫;陈伟;;W18Cr4V高速钢基体化掌握了相沉积TiN工艺理论研究[A];安徽省装备制造业发展论坛会论文集[C];2003年
9	王增林;高彦磊;姜洪艳;刘宗怀;杨祖培;;电化学研究化学镀铜溶液中三乙醇胺和亚铁氰化钾的作用机理[A];2007年上海市电子电镀学术年会论文集[C];2007年
10	王旭;李娜;杨志锋;王增林;;PEG和SPS对超级化学镀铜微孔填充影响的新体系研究[A];2009年全国电子电镀及表面处理学术交流会论文集[C];2009年

中国博士学位论文全文数据库

前10条

1	甘雪萍;电磁屏蔽用导电涤纶织物制备新技术及其产业化应用研究[D];上海交通大学;2007年
2	王福;渤海湾海岸带~（210）Pb、~（137）Cs示踪与测年研究：现代沉积及环境意义[D];中国地质科学院;2009年
3	乔桂英;块体纳米晶Co-Ni合金的JED制备及其结构性能的研究[D];燕山大学;2006年
4	孙海龙;现代钙华沉积的环境替代指标及其气候环境因子控制的研究[D];中国地质科学院;2008年
5	单英春;EB-PVD Ni-Cr薄板沉积的多尺度模拟[D];哈尔滨工业大学;2006年
6	陈曦;白垩纪大洋红层时代、类型及环境[D];中国地质大学（北京）;2009年
7	王旭;超级化学镀铜方法填充微道沟的基础研究[D];陕西师范大学;2011年
8	程鹏;北黄海细颗粒物质的沉积特征与输运过程[D];中国科学院海洋研究所;2000年
9	汪亚平;胶州湾及邻近海区沉积动力学[D];中国科学院海洋研究所;2000年
10	贾建军;小型潮汐汊道系统的沉积动力过程与演化[D];中国科学院海洋研究所;2001年

中国硕士学位论文全文数据库

前10条

1	芦奇力;MWECR CVD制备：a-Si：H薄膜的沉积速率研究和红外分析[D];北京工业大学;2003年
2	申丹丹;乙醛酸化学镀铜的工艺与机理研究[D];厦门大学;2007年
3	高彦磊;超级化学镀铜溶液研究[D];陕西师范大学;2008年
4	刘广东;大民屯凹陷北部下第三系磁性地层与沉积速率[D];中国地质大学（北京）;2003年
5	杨保中;化学镀纳米铜膜的工艺参数和表面形貌及沉积原理研究[D];吉林大学;2007年
6	李新领;装饰薄膜氮化锆的中频反应磁控溅射沉积工艺的研究[D];河北农业大学;2005年
7	祁俊路;射频反应磁控溅射法制备Al_2O_3薄膜结构与性能的研究[D];合肥工业大学;2006年
8	石哲;用于FBAR技术的AIN薄膜的研究[D];浙江大学;2006年
9	郑小秋;磁致冷材料Gd表面保护膜的制备及其附着性能研究[D];西华大学;2006年
10	宋瑞霞;纳米碳纤维表面磁性涂层的研究[D];青岛科技大学;2006年

中国重要报纸全文数据库

前10条

1	;巧看麦叶施微肥[N];蚌埠日报;2009年
2	施笔;养牛效益高护蹄也重要[N];瓜果蔬菜报.农业信息周刊;2006年
3	承德县农牧局冯海侠;青辣椒育苗关键措施[N];河北科技报;2006年
4	李大刚;渔池害藻的防除方法[N];中国渔业报;2008年
5	汪应梅;夏秋谨防羊腐蹄病[N];河南科技报;2006年
6	张秀莲;一起鹌鹑曲霉菌病的诊治报告[N];中国畜牧兽医报;2007年
7	段富顺;家畜农药中毒解救[N];云南科技报;2008年
8	王杰;如何防治果树“癌症”[N];科学导报;2005年
9	;鸽农药中毒咋办[N];中国畜牧兽医报;2008年
10	刘后昌;GPS测量数据表明：洞庭湖面积将扩大[N];中国测绘报;2005年

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