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基于不同扩散阻挡层的籽晶铜上电镀孪晶铜初步研究

赵莹  谢琦  屈新萍  
【摘要】:本文采用电镀方法制备具有一定孪晶密度的纯铜样品,并对不同的电镀参数和不同电镀衬底的实验结果进行了初步比较。发现不同的衬底结构对孪晶的产生和密度有很大影响。同时发现 W 基扩散阻挡层的电镀铜有很强的(111)择优晶向。

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