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电沉积在MEMS加工技术中的应用

丁桂甫  汪红  戴旭涵  赵小林  姚锦元  张丛春  
【摘要】:在非硅材料三维微加工技术中,基于电化学原理的微加工工艺发挥着关键作用,高深宽比微结构一次性微电铸成型和复杂金属微结构的叠层制作是最具代表性的典型工艺,借助它们可以直接制备各种三维微结构,而且可以通过模具复制工艺达到批量加工的目的。

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