收藏本站
收藏 | 论文排版

B离子注入引起的金刚石薄膜体积膨胀现象

闫翠霞  戴瑛  刘东红  俞林  龙闰  张振奎  张智伟  杨可松  郭猛  杨剑  
【摘要】:正金刚石半导体器件的实现有赖于金刚石N型或P型导电材料的获得。离子注入是获得金刚石N型或P型导电材料的有效途径之一。然而,离子注入对金刚石的晶格结构有破坏作用,造成金刚石薄膜体积的膨胀。关于合成金刚石薄膜离子注入带来的体积膨胀仍然是一个尚未解决的问题。我们对B离子注入合成Ib型金刚石薄膜引起的体积膨胀因素及原因进行了详细地分析和研究。所用的基底材料是high power DF arc plasma jet CVD合成Ib型金刚石薄膜。晶粒直径约50μm,N

知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 黄晓琴,夏义本,莫要武,王瑜,居建华,王鸿;陶瓷氧化铝-金刚石薄膜复合材料的研究(英文)[J];功能材料与器件学报;2001年03期
2 万军;马志斌;;液相电沉积金刚石薄膜的研究进展[J];材料导报;2004年02期
3 刘卫平,余庆选,田宇全,廖源,王冠中,方容川;硼掺杂对金刚石薄膜生长特性的影响[J];无机材料学报;2005年05期
4 闫鹏勋;李晓春;李春;崇二敏;刘洋;李鑫;徐建伟;;高质量非晶金刚石薄膜的制备研究[J];人工晶体学报;2006年01期
5 王勇;马玉平;孙方宏;张志明;陈明;;光滑硬质合金衬底渗硼预处理对CVD金刚石薄膜性能的影响[J];中国机械工程;2006年05期
6 曹菊琴;汪建华;满卫东;熊礼威;;甲烷浓度对金刚石薄膜(100)织构生长的影响[J];应用化工;2006年10期
7 李荣斌;;共掺杂n型CVD金刚石薄膜的结构和性能[J];功能材料与器件学报;2007年04期
8 袁红梅;;实验参数对金刚石薄膜内应力的影响研究[J];硬质合金;2008年04期
9 沈彬;孙方宏;张志明;;CVD金刚石薄膜在水润滑条件下的摩擦磨损性能研究[J];摩擦学学报;2008年02期
10 邢文娟;汪建华;王传新;皮华滨;陈宁;;三步酸蚀去钴对金刚石薄膜附着力影响的研究[J];硬质合金;2008年02期
11 王丽军;王小平;张雷;王隆洋;;衬底位置对大面积CVD金刚石薄膜质量的影响[J];微细加工技术;2008年04期
12 曹菊琴;;砷化镓上生长金刚石薄膜的研究[J];应用化工;2009年01期
13 杨树敏;谢巧玲;周兴泰;朱德彰;巩金龙;;低压促进的金刚石薄膜的低温生长[J];核技术;2009年01期
14 朱宏喜;鱼敏英;刘玉亮;田保红;赵清坡;;孪晶对CVD金刚石薄膜宏观织构组分的影响[J];科学技术与工程;2009年13期
15 孟祥钦;王兵;王玉乾;甘孔银;李凯;王延平;何婷;;氧化铝基体表面预处理对金刚石薄膜生长的影响[J];功能材料;2009年10期
16 郑华;孙方宏;彭东辉;;大孔径内孔表面金刚石薄膜涂层的制备[J];金刚石与磨料磨具工程;2009年05期
17 何琨;苟立;冉均国;;金刚石薄膜的表面成分和形貌对表面能的影响[J];硅酸盐学报;2010年02期
18 安云玲;常明;;HFCVD金刚石薄膜表面的氨基修饰方法[J];功能材料;2010年01期
19 朱宏喜;顾超;任凤章;田保红;;CVD金刚石薄膜宏观织构的形成过程[J];科学技术与工程;2011年12期
20 张志明;丁正明;;低压气相合成金刚石薄膜及其评价技术[J];自然杂志;1987年10期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 卢鸿修;胡晋生;朱静;戚立昌;;金刚石薄膜的晶体缺陷及其界面特征的研究[A];海峡两岸电子显微学讨论会论文专集[C];1991年
2 邹广田;于三;;气相合成金刚石薄膜的研究进展[A];首届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1992年
3 高春晓;邹广田;吕宪义;于三;金曾孙;赵树堂;庄荣书;;直流辉光放电方法制备高品质金刚石薄膜[A];首届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1992年
4 顾长志;王春蕾;庄荣书;吕宪义;金曾孙;;金刚石薄膜选择性生长的新方法的研究[A];首届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1992年
5 蒋瑞亭;;金刚石薄膜的国内外发展概况[A];首届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1992年
6 朱嘉琦;;(硼、磷掺杂)非晶金刚石薄膜的研究及应用[A];第七届中国功能材料及其应用学术会议论文集(第7分册)[C];2010年
7 李建国;胡东平;;等离子体预处理提高金刚石薄膜/基体间结合力[A];中国工程物理研究院科技年报(2005)[C];2005年
8 陈冷;张建升;毛卫民;;CVD金刚石薄膜的宏观织构与显微组织研究[A];第十一届中国体视学与图像分析学术会议论文集[C];2006年
9 张贵锋;郑修麟;;合成大面积金刚石薄膜的初步研究[A];首届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1992年
10 于三;邹广田;金曾孙;吕宪义;;非掺杂、硼掺杂金刚石薄膜的气相合成及性质研究[A];首届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1992年
中国博士学位论文全文数据库 前8条
1 刘峰斌;不同表面端基掺硼金刚石薄膜的微观结构及性能[D];清华大学;2006年
2 刘健敏;CVD金刚石薄膜在光电器件中的应用研究[D];上海大学;2007年
3 苏青峰;CVD金刚石薄膜材料与辐射探测器件的研究[D];上海大学;2007年
4 罗代兵;特殊形貌硼掺杂金刚石薄膜的构建及应用研究[D];中国科学院研究生院(理化技术研究所);2009年
5 沈沪江;纳米金刚石薄膜及其辐射探测器的制备和性能研究[D];上海大学;2010年
6 赵建文;功能化金刚石薄膜制备及其应用研究[D];中国科学院研究生院(理化技术研究所);2008年
7 张继成;(类)金刚石薄膜的微细加工、表征及其在ICF靶制备中的应用[D];中国工程物理研究院;2008年
8 吴南春;电子辅助化学气相沉积法(EACVD)制备纳米金刚石薄膜及其光电性能的研究[D];上海大学;2008年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 陆青松;硼氧共掺杂金刚石薄膜的微结构和电学性能研究[D];浙江工业大学;2009年
2 方梅;氧化铍基HFCVD金刚石薄膜及其热性能的研究[D];中南大学;2008年
3 杨国栋;陶瓷基CVD金刚石薄膜的制备、摩擦试验及其应用研究[D];上海交通大学;2010年
4 王健;铌基CVD金刚石薄膜的制备、掺杂及其电化学性能的研究[D];中南大学;2011年
5 王峰浩;离子注入金刚石薄膜的微结构与光电性能研究[D];浙江工业大学;2013年
6 柴士磊;纳米金刚石薄膜的制备与研究[D];郑州大学;2007年
7 李正学;硼掺杂金刚石薄膜的制备、电化学性能及表面修饰研究[D];南京理工大学;2012年
8 孟令聪;CVD金刚石薄膜的掺杂及其电化学性能的研究[D];中南大学;2012年
9 杨德威;剃须刀锋刃沉积金刚石薄膜的研究[D];河南工业大学;2013年
10 翟豪;化学气相沉积硼掺杂金刚石薄膜的研究[D];中南大学;2013年
中国重要报纸全文数据库 前1条
1 吴琼;引人瞩目的新材料金刚石薄膜[N];中国电子报;2000年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978