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硅上SiO_2膜的喇曼谱

姜建义  余菊华  许存义  刘春荣  
【摘要】:正我们用Spexl 403型喇曼光谱仪分别测量了高电阻率单晶硅和硅上热氧化膜的喇曼谱,扣除硅衬底的喇曼散射频移,便可获得硅上热氧化SiO

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