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注氮硅光谱特性研究

沈厚运  徐知三  曾凡清  汉新  潘显政  
【摘要】:正在Fz硅晶体中,利用离子注入法掺入一定浓度的氮原子,有可能达到Cz硅中氧原子对杂质和缺陷的"本征吸取"和提高材料强度的双重目的,氮原子在硅中溶解度不大,且行为复杂。然而采用非破坏性光学方法——拉曼谱,红外吸收谱和椭园光谱。研究注氮硅经不同热处理条件前后的光谱特性。能提供材料无序度和结构信息。

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