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脉冲激光沉积薄膜生长的计算机模拟

谭歆  周益春  郑学军  
【摘要】:正 采用动力学Monte-Carlo方法对脉冲激光沉积(pulsed-laser deposition,PLD)和分子束外延(molecular-beam epitaxy,MBE)薄膜生长过程进行了计算机模拟。模型中引入Morse作用势描述粒子间的相互作用情况,考虑了粒子的沉积和吸附粒子的扩散。结果表明采用脉冲激光沉积生长的薄膜与采用分子束外延生长的薄膜有明显的

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