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聚焦离子束双束系统在材料科学与技术中的应用

金爱子  陈雷明  崔铮  
【摘要】:正 纳米技术的突飞猛进,使得人们对微纳米加工技术的要求越来越高,需求也越来越大。聚焦离子束加工、电子束直写、纳米压印等加工手段由于其各自的优点而被人们广泛应用。该文章主要介绍聚焦离子束双束系统在材料科学与技术中应用,如光子晶体等特殊人工材料的制备、用于炭纳米管研究的纳米电极的制备,以及用于材料研究的透射电镜(TEM)样品的制备。

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