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类金刚石薄膜的新进展

袁镇海  付志强  林松盛  邓其森  
【摘要】:正本文综述近年来类金刚石(DLC)薄膜制备技术、性能和应用的新进展.类金刚石膜是含有金刚石结构(sp3键)的非晶碳膜,它具有许多与金刚石相似的性能,如硬度高、弹性模量高、声传播速度快、磨擦系数低、比表面能低、红外透过率高、导热率高、电子亲和势低、化学稳定等等.而且,类金刚石薄膜制备技术相对比较成熟,其沉积温度比较低,沉积面积较大,膜面光滑平整,目前已在很多领域上得到应用.特别是在某些要求沉积温度低、膜面光洁度高的场合,类金刚石膜具有独特的优点,金刚石膜并不能完全取代它,因此类金刚石膜的开发研究吸引了许多材料工作者的极大关注,成为材料发展前沿的一个分支.

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