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激光激发超声Lamb波的薄膜参数反演

刘婧  王浩  胡文祥  
【摘要】:正1引言薄膜材料在现代工业中有广泛的应用。相对于体材料,薄膜材料参数(如厚度、弹性常数)的无损表征与评价有较大困难。Lamb波的检测常用于估计薄膜材料的性质参数。Lamb波模式的相速度频散特性是分析薄膜参数的有力工具。激光超声方法是

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