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适用于压电硅微传声器的PZT压电薄膜的研制

李俊红  汪承灏  刘梦伟  徐联  
【摘要】:正1引言硅微压电传声器相对于电容传声器具有制备工艺简单,不需要复杂的气隙制备工艺;工作时,利用的是压电薄膜的压电效应,因此不需要偏置极化电压,这样大大方便了传感器和电路的集成;其频率动态范围要比电容式的宽;内阻低,若作为超声发射换能器具有较大的优势,另外,电容传声器存

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