非晶态TeO_2膜温度补偿复合声表面波材料
【摘要】:正1引言温度延迟系数(TCD)是声表面波器件的一个重要参数。然而,大多数常见的压电材料,如铌酸锂、钽酸锂等,都具有较大的正TCD。层状结构足解决温度补偿问题的基本的方法之一。在一些层状结构
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