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ZnO固态装配型谐振器(SMR)的模拟分析

汤亮  郝震宏  乔东海  汪承灏  
【摘要】:正1 引言近年来,薄膜体声波谐振器(FBAR)由于其较小的体积以及可与 IC 电路进行单芯片集成的特点,在射频微电子器件领域受到越来越多的关注。 FBAR 可以用来构成低插损的射频滤波器以及低相噪的振荡器,可工作在500MHz~10GHz 的频率范围内。与声表面波器件相比,它具有工作频率高、

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