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0.8mm压电方柱超声电机的研制及应用

刘涛  路凯  周铁英  陈宇  
【摘要】:正1.导言近几年,随着微机械、微电子的快速发展,对微型电机的需求越来越多。由于超声电机结构简单灵活和低速大力矩的特点,在微型电机市场中比传统电磁电机更有发展前景。制作小直径的超声电机,弯曲振动模态超声波电机是常用的一种,2000-2003年报导的圆管式超声电机为超声微电机的广泛应用带来了希望。但由于管式超声电机要有一定尺寸的内径,所以要微型化比较困难。2001年,我们研制了直径1mm,长5mm的圆柱式超声微电机,其特点是以压电柱作为定子, 转速可达1800rpm,堵转力矩4μNm。并于2003年10月,应用于OCT(光学相干层析成像)内窥镜样机中, 得到了塑料管和葱管内部的层析成像图,分辨率微米数量级。

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