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振簧法和扭摆法测量薄膜的内耗和弹性模量

方前锋  李朝升  李世直  Stan Veprek  
【摘要】:正 1 引言薄膜材料因其在电子器件、显示、传感、光学器件、防腐耐磨部件等方面的应用前景而倍受关注。精确测量薄膜的力学性质,如弹性模量,在很多情况下具有重要的意义。对不易和不宜从

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