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声表面波驱动的微型马达研究

程利平  张广明  张淑仪  郁炯  水修基  
【摘要】:正1.引言 超声马达相对于传统电磁马达来说,由于其具有很好的特性,如力矩大、易于控制、工作时噪声小、无电磁感应以及适合于小型化等优点,引起广泛的兴趣。1994年,Kurosawa等人首先提出用瑞利波来驱动马达并验证了用频率为10MHz的瑞利波驱动线性马达的可能性。为了将这马达微型化,他们将瑞利波的频率提高到50MHz,而马达仍能正常运行。但是,这些用瑞利波驱动的马达都只能作为微型线性传动器。之后,我们首次提出了工作频

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