微机电系统的发展趋势及国内外研发状况(摘要)

【摘要】：正电系统(MEMS)是指适用于批量制作的,集微型机构、微型驱动器、微型传感器、微型执行器、信号处理和智能控制,直至接口、通讯和能源等于一体的能完成特定功能的微系统.MEMS是多学科交叉的前沿研究领域,它涉及电子工程、机械工程、材料工程、信息工程、物理学、化学、光学以及生物医学等学科和技术.MEMS广义上包含了微小型和微米机械.

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中国期刊全文数据库

前20条

1	黄虎;尤政;阮勇;张弛;;MEMS继电器典型结构及其研究进展[J];传感器与微系统;2011年07期
2	刘修泉;李艳红;薛凯峰;黄平;;胶囊微机电无线能量传输系统设计与试验研究[J];工程设计学报;2011年03期
3	孙韶春;石庚辰;;旋转式微发电机的设计与制造[J];光学精密工程;2011年06期
4	常洪龙;白滨;焦文龙;谢建兵;秦子明;苑伟政;;大输出微控制力矩陀螺的设计[J];传感技术学报;2011年08期
5	苏虎平;沈三民;安震;刘文怡;刘龙飞;任伟;;基于加速度计的陀螺三轴角速率提取算法研究[J];传感器与微系统;2011年07期
6	刘梦伟;汪承灏;李俊红;;基于PZT薄膜面内极化工作的低应力压电微传声器[J];纳米技术与精密工程;2011年04期
7	何宇航;张文明;孟光;武洁;;随机粗糙表面对微气体轴承性能的影响[J];润滑与密封;2011年06期
8	张丽杰;常佶;;微小型航姿测量系统及其数据融合方法[J];中国惯性技术学报;2011年03期
9	沈丹东;马炳和;邓进军;苑伟政;;压电式微型合成射流器结构参数优化设计[J];航空学报;2011年09期
10	;稿约[J];纳米技术与精密工程;2011年03期
11	徐烨烽;仇海涛;何孟珂;孟庆季;;MEMS旋转调制式航姿参考系统设计及误差补偿[J];兵工学报;2011年06期
12	;稿约[J];纳米技术与精密工程;2011年04期
13	;Araldite~ Digitalis~进军日本快速制造市场[J];汽车工艺与材料;2011年08期
14	刘大为;李亮亮;李敬锋;;微型热电器件应用的最新研究进展[J];中国科技论文在线;2011年08期
15	荣烈润;;基于微细特种加工的微细制造技术(上)[J];金属加工(冷加工);2011年13期
16	陆静玲;;浅析MEMS技术在电子通信产业中的价值[J];硅谷;2011年14期
17	王建平;;复杂曲面微细零件切削加工研究[J];机床与液压;2011年10期
18	;高等教育出版社学术著作介绍[J];机械设计与研究;2011年04期
19	王伟忠;赵玉龙;林启敬;;MEMS三维微力探针传感器设计及性能测试[J];纳米技术与精密工程;2011年03期
20	蓝吉兵;谢永慧;张荻;;微通道中球窝/球凸强化传热特性研究[J];西安交通大学学报;2011年07期

中国重要会议论文全文数据库

前10条

1	王立鼎;;微机电系统的发展趋势及国内外研发状况(摘要)[A];中国科协2001年学术年会分会场特邀报告汇编[C];2001年
2	王晓东;余家欣;陈磊;钱林茂;;水分和氧气对单晶硅摩擦化学行为的影响[A];2011年全国青年摩擦学与表面工程学术会议论文集[C];2011年
3	陈十一;Gary D Doolen;聂小波;;应用格子Boltzmann方法(LBM)模拟微机电系统(MEMS)中的流动[A];自然、工业与流动——第六届全国流体力学学术会议论文集[C];2001年
4	张俊峰;李兴国;娄国伟;;MEMS技术在微小型探测系统中的应用[A];2005'全国微波毫米波会议论文集（第二册）[C];2006年
5	贾继伟;金延中;张凤翠;;浅析微机电(MEMS)系统技术及其应用[A];十三省区市机械工程学会第五届科技论坛论文集[C];2009年
6	;六、100强企业研发状况[A];2011中国煤炭企业100强分析报告[C];2011年
7	毛刚;顾启泰;;微型惯性测量组合的发展[A];全国飞机与船舶通信导航学术研讨会论文集（上）[C];2000年
8	徐景硕;;基于振动理论的微惯性测量元件[A];中国仪器仪表学会第三届青年学术会议论文集（下）[C];2001年
9	郭永献;贾建援;梁丽萍;;MOMES光开关的研究现状及展望[A];2007'中国仪器仪表与测控技术交流大会论文集（二）[C];2007年
10	何庆;索智群;乔东海;;单晶硅电容式低频传声器的设计和制作[A];2009’中国西部地区声学学术交流会论文集[C];2009年

中国博士学位论文全文数据库

前10条

1	祝捷;微机电系统自聚焦压电声学换能器[D];武汉大学;2010年
2	曹钟慧;应用于光通信的非硅基底光开关与光衰减器的研究[D];浙江大学;2005年
3	钟莹;微机电系统谐振器面内运动检测的激光多普勒方法[D];天津大学;2005年
4	鲍俊峰;基于微加工技术的光开关及光互连结构研究[D];浙江大学;2006年
5	余洪斌;MEMS-DMs理论设计及工艺研究[D];华中科技大学;2005年
6	范细秋;纳米压印及MEMS仿生功能表面制备的研究[D];华中科技大学;2006年
7	孙吉勇;MEMS光栅光调制器阵列及投影显示系统的光学分析和实验[D];重庆大学;2008年
8	黄腾超;微流控集成光波导光开关的研究[D];浙江大学;2005年
9	李伟剑;微机电系统的多域耦合分析与多学科设计优化[D];西北工业大学;2004年
10	赵志强;一种基于MEMS和细胞电场效应的细胞融合方法的研究[D];重庆大学;2006年

中国硕士学位论文全文数据库

前10条

1	李杨;三维无线能量传输技术在体内微机电系统中的实验研究[D];华南理工大学;2011年
2	熊建功;基于MEMS细胞电融合芯片及其外围驱动电路的设计[D];重庆大学;2006年
3	邓学亮;引信安全系统中高G值双稳态微加速度开关研究与设计[D];南京理工大学;2007年
4	李冠男;基于UV-LIGA技术的毛细管电泳芯片设计与制备[D];华中科技大学;2006年
5	刘佳;基于MEMS微致动器的碟翼流动控制研究[D];西北工业大学;2006年
6	龚怀民;基于MEMS的微机械滤波器研究[D];电子科技大学;2006年
7	胡宁;基于SOI的细胞电融合原理性芯片的研制与细胞排队及融合实验研究[D];重庆大学;2007年
8	王晶东;基于激光位移量测量的微小摩擦力测试系统研究[D];长春理工大学;2008年
9	张涛;激光多普勒微机电系统运动检测电路与软件设计[D];天津大学;2007年
10	徐景辉;MEMS工艺集成化设计与仿真技术研究[D];西北工业大学;2006年

中国重要报纸全文数据库

前10条

1	陈丹;科学家研制出可自我校准的微机电系统[N];科技日报;2010年
2	李成刚;外企在中国的研发状况及影响[N];经济参考报;2000年
3	王彩娟;葛兰素史克公布目前药物研发状况[N];中国医药报;2004年
4	姚震宇;投入继续增长开发周期延长[N];中国医药报;2006年
5	卢慧生;英国发布《2006年全球企业研发状况报告》[N];中国知识产权报;2007年
6	刘霞;研发之路有多远[N];中国经济导报;2005年
7	本报记者韩义雷　过国忠;无锡加快建设物联网“感知中国”中心[N];科技日报;2009年
8	钢山;浦项制铁Finex冶炼技术设备研发状况[N];中国冶金报;2005年
9	本报特约撰稿人黄东临;葛兰素史克新药研发承诺过多，实现过少？[N];医药经济报;2005年
10	恩智浦半导体高级总监及SIP项目经理 Alain Rougier　恩智浦创新高级总监 Eef Bagerman 恩智浦营运后端创新策略总监 Caroline Beelen-Hendrikx;SoC与SiP各有千秋两者之争仍将继续[N];中国电子报;2008年

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