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微机电系统的发展趋势及国内外研发状况(摘要)

王立鼎  
【摘要】:正 电系统(MEMS)是指适用于批量制作的,集微型机构、微型驱动器、微型传感器、微型执行器、信号处理和智能控制,直至接口、通讯和能源等于一体的能完成特定功能的微系统.MEMS是多学科交叉的前沿研究领域,它涉及电子工程、机械工程、材料工程、信息工程、物理学、化学、光学以及生物医学等学科和技术.MEMS广义上包含了微小型和微米机械.

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