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微细电极电化学机械复合抛光的试验研究

郭帅  古文才  张永俊  郭钟宁  
【摘要】:介绍一种微细工具电极的电化学机械抛光工艺。通过掺粉电解抛光试验,分析了加工过程中电化学机械复合作用机理及电参数、加工间隙、工作液、转速等因素对工件表面质量的影响规律,实现对初始表面粗糙度较高的微细工具电极抛光到镜面效果。

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