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制作微器件的超声电解复合微细加工试验研究

朱永伟  云乃彰  吴冰杰  
【摘要】:提出一种制造MEMS微器件的新技术——超声电解复合微细加工;构造超声电解复合微细加工试验系统, 设计微细加工工具电极,进行一系列微细加工基础工艺试验,验证超声-电解复合加工技术在微器件加工中的可行性;展示了此项技术在提高微细加工精度、效率等方面的优势;研究成果对拓展超声电解复合微细加工技术的应用、完善MEMS器件制作技术具有重要理论意义与实用价值。

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