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基于LIGA技术的微细电火花加工研究

彭良强  伊福廷  张院春  邹丽芸  张菊芳  韩勇  
【摘要】:实验探讨了采用LIGA技术制备工具电极的微细电火花加工技术。通过同步辐射深度光刻得到具有微细结构的胶模具,使用电铸技术得到镶嵌在胶结构中的铜工具电极,去胶后利用该电极进行微细电火花加工实验,在不锈钢上加工出异形微细孔。

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