W18Cr4V高速钢基体化掌握了相沉积TiN工艺理论研究

【摘要】：研究了气体总流量、沉积温度、TiCl4蒸发温度、氮氢比等工艺参数对W18Cr4V高速钢基体TiN沉积速率的影响。确定了沉积过程分别为扩散控制区和表面过程控制区的实验条件。在表面过程控制区域,测定了本实验条件下W18Cr4V钢基体TiN化学气相沉积的表面过程表观活化能值为137.23KJ／mol。

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3	刘艳芬;刘晓华;孙为民;刘晶会;;In_2O_3(ZnO)_m超晶格纳米线的制备和性质[J];人工晶体学报;2011年04期
4	赵宗峰;鲜晓斌;唐贤臣;吉祥波;;Parylene F薄膜介电材料的制备与研究[J];功能材料;2011年S3期
5	Azizan Aziz;Siang-Piao Chai;Abdul Rahman Mohamed;Ching-Thian Tye;;用于制备优质单壁碳纳米管管束的MgO负载Fe_3O_4纳米粒子的合成(英文)[J];新型炭材料;2011年04期
6	曹高翔;付业伟;孙慧慧;许占位;李贺军;田松;;碳包覆纳米铁镍磁性颗粒的合成(英文)[J];无机化学学报;2011年07期
7	黄浩;闫曦;陈大明;仝建峰;李臻熙;;C芯SiC纤维制备技术研究[J];稀有金属材料与工程;2011年S1期
8	朱金凤;满卫东;吕继磊;匡巧;汪建华;;同质外延单晶CVD金刚石的研究进展[J];金刚石与磨料磨具工程;2011年04期
9	冯宇;冯秋菊;王珏;蒋俊岩;陶鹏程;刘爽;许瑞卓;李梦轲;宋哲;孙景昌;;Sb掺杂大尺寸ZnO纳米棒的制备及其特性研究[J];无机化学学报;2011年07期
10	于澍;郑洲顺;张福勤;蔡永强;;等温CVD制备炭/炭复合材料过程中气体滞留时间的数模分析(英文)[J];Transactions of Nonferrous Metals Society of China;2011年08期
11	刘巧沐;张立同;成来飞;栾新刚;孟志新;;C/SiC-ZrC复合材料在甲烷燃气环境中的氧化行为[J];复合材料学报;2011年04期
12	田孟昆;余志明;刘学璋;葛婧萱;王玲;黄臣;;过渡层对铜基金刚石薄膜的影响[J];中国表面工程;2011年04期
13	何婷;王兵;王朝阳;付志兵;唐永建;;快速生长超长定向碳纳米管阵列的制备及机理[J];强激光与粒子束;2011年06期
14	高伟洁;郭淑静;张洪波;潘秀莲;包信和;;氮掺杂碳纳米管对其负载的Ru催化剂上合成氨的促进作用[J];催化学报;2011年08期
15	陈朋;满卫东;吕继磊;朱金凤;董维;汪建华;;高掺杂Si/BDD薄膜电极的制备及电化学性能[J];功能材料与器件学报;2011年03期
16	郑湘林;李国栋;熊翔;孙威;;常压化学气相沉积ZrC涂层动力学与组织结构[J];中南大学学报(自然科学版);2011年07期
17	魏秋平;王钰言;陈中;刘培植;余志明;;W18Cr4V高速钢渗铬热处理对HFCVD金刚石膜生长的影响[J];中国有色金属学报;2011年07期
18	王红霞;王申祥;王国清;郏景省;吴庆凤;;乙烯裂解炉管抑制结焦在线涂层的制备研究[J];石油化工;2010年12期
19	李莉平;;TiN类膜制备工艺的研究进展及应用[J];产业与科技论坛;2011年04期
20	沈海军;时东路;赵鹏;王祎龙;;发丝表面艺术及其创作[J];艺术科技;2011年02期

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前10条

1	王豫;陈伟;;W18Cr4V高速钢基体化掌握了相沉积TiN工艺理论研究[A];安徽省机械工程学会成立40周年纪念册暨安徽省装备制造业发展论坛会议论文集（1963-2003）[C];2003年
2	王豫;陈伟;;W18Cr4V高速钢基体化掌握了相沉积TiN工艺理论研究[A];安徽省装备制造业发展论坛会论文集[C];2003年
3	阮伟东;王春旭;纪楠;吕志成;韩晓霞;赵纯;周吉;赵冰;;化学气相沉积制备ZnO纳米线薄膜及其SERS活性的初步研究[A];第十四届全国分子光谱学术会议论文集[C];2006年
4	张波;蒋伟阳;周斌;沈军;王珏;;硅气凝胶中化学气相沉积硅的光致发光[A];第二届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1995年
5	王非;杨冬;李春华;梁建;马淑芳;刘旭光;许并社;;GaN纳米线的制备与表征[A];2006年全国功能材料学术年会专辑[C];2006年
6	周炽炜;蔡克峰;;化学气相沉积制备硅纳米棒阵列[A];2011中国材料研讨会论文摘要集[C];2011年
7	刘雄英;黄光周;于继荣;;原子层沉积技术及其应用[A];TFC'05全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2005年
8	吴文军;张伟刚;;氧化铁表面沉积热解炭及气化[A];第三届全国化学工程与生物化工年会论文摘要集（下）[C];2006年
9	张帆;吴强;胡征;;原位产生模板法制备AlN纳米空心球[A];中国化学会第26届学术年会纳米化学分会场论文集[C];2008年
10	朱大焕;王坤;王先平;陈俊凌;方前锋;;CVD钨涂层的残余热应力模拟与分析[A];第十四届全国核物理大会暨第十届会员代表大会论文集[C];2010年

中国博士学位论文全文数据库

前10条

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2	胡昌义;CVD Ir/Re复合材料研究[D];中南大学;2002年
3	牛俊杰;一维纳米硅材料的制备与性能研究[D];浙江大学;2005年
4	刘金章;一维纳米功能材料的制备与特性研究[D];兰州大学;2006年
5	李昱;纳米碳管的制备、表面修饰及其初步用于葡萄糖生物传感器的研究[D];浙江大学;2005年
6	于仁红;TiO_2碳热还原氮化法制备TiN粉末及TiN-Al_2O_3复合材料研究[D];西安建筑科技大学;2005年
7	姜卫粉;一种碳纳米管/硅巢状阵列的制备与场发射、湿敏性能研究[D];郑州大学;2007年
8	苏雅玲;非金属掺杂TiO_2纳米管的制备及其光电催化性能研究[D];浙江大学;2008年
9	牟宗信;非平衡磁控溅射沉积系统放电特性和沉积TiN_x薄膜应用研究[D];大连理工大学;2006年
10	李海鹏;碳纳米管在铝基体上原位合成及其复合材料的组织与性能[D];天津大学;2008年

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前10条

1	鲁勖琳;基于氮化钛的离子选择电极的研制[D];湖南大学;2003年
2	孙世尧;氮化钛纳米膜改进磁性附着体性能的研究[D];中国人民解放军第四军医大学;2003年
3	陈俊英;CH4/H2系统电子助进热丝化学气相沉积动力学过程研究[D];河北大学;2000年
4	赵薇;氮化钛粉末制备的动力学和热力学研究[D];西安建筑科技大学;2004年
5	周磊;硬质合金高温化学气相沉积TiN涂层工艺及性能研究[D];西华大学;2011年
6	张玉红;H_2/C_2H_2系统电子助进热丝化学气相沉积动力学过程研究[D];河北大学;2001年
7	张德学;工艺参数对氮化硼薄膜结构相的影响[D];北京工业大学;2001年
8	肖惠军;钛义齿支架电弧离子镀技术的实验研究[D];第四军医大学;2005年
9	徐成俊;磁控溅射TiN及ZrN薄膜的特性研究[D];重庆大学;2005年
10	张衡;纳米金刚石薄膜和p型金刚石薄膜的制备和性能研究[D];浙江大学;2006年

中国重要报纸全文数据库

前10条

1	印高乐;银系抗菌氮化钛镀膜可抑制金黄色葡萄球菌增殖[N];医药经济报;2003年
2	刘蒙;Voltaix获得Intel Capital 1250万美元投资[N];电子资讯时报;2008年
3	刘建军执笔;赢在科技创新[N];中国航空报;2008年
4	记者陈炳欣北京;面板设备需求趋缓 AKT切入CF溅镀设备领域[N];电子资讯时报;2006年
5	记者王冠/北京;全球七代线扩厂拉开序幕[N];电子资讯时报;2004年
6	;以创新致胜[N];通信产业报;2005年
7	王桂兰杨春莉;强生膜推出高端建筑陶瓷膜[N];中国建材报;2010年
8	陈捷;尽显新材料研究实力[N];科技日报;2000年
9	刘国齐时振刚博士;关注新型耐火材料[N];中国冶金报;2007年
10	记者王志彦　徐蒙实习生谢金晶;高端太阳能装备有了“中国造”[N];解放日报;2011年

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