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基于金属表面等离激元(SPP)相干场的分子光刻研究

尹亚玲  李涛  徐平  祝世宁  
【摘要】:正利用光场与分子之间的偶极相互作用实现对原子分子的操控,拓展原子分子在纳米新材料的制备方面的应用具有重大的基础研究意义和广泛的应用前景。本文提出一种采用特定设计的金属表面激发的表面等离激元(SPP)相干光场为掩模光场实现一维、二维分子光刻方案。本文详细研究了特

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