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光漂白法制备波导型SPR折射率传感器研究

姬兰婷  何国冰  刘通  孙小强  张大明  
【摘要】:本文利用表面等离子波模场对金属薄膜表面介质折射率敏感的特性,以硅衬底上的Si O2作为下包层,以光敏聚合物SU-8经紫外光漂白得到的波导作为芯层,湿法腐蚀工艺制备20nm厚纳米金膜敏感区,选择光传输强度作检测参量,设计了基于表面等离子共振效应的液体折射率传感器。理论计算结果表明,当芯层材料折射率为1.575,待测液体折射率在1.566~1.575范围内时,器件归一化传输功率变化可达20d B。

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