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MEMS与移动通信

焦继伟  夏保佳  王跃林  
【摘要】:MEMS技术是实现小型化、低成本、低功耗、多功能的移动通信系统的重要手段,论文就MEMS技术在移动通信领域的应用所涉及的关键器件及子系统的研究现状、市场需求和发展趋势作了介绍,主要包括RF MEMS、微型能源和微型传感器等。对国内MEMS的发展尤其是产业化也提出了自己的建议。

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