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基于压电扫描管动态特性分析的AFM成像方法研究

董晓坤  方勇纯  周娴玮  张玉东  
【摘要】:原子力显微镜(AFM)是纳米技术和纳米操作领域中强有力的工具。本文针对扫描成像的原子力显微镜,提出了一种基于压电扫描管动态特性的AFM成像方法,有效地提高了AFM在Z方向上的成像精度。具体而言,论文首先介绍了原子力显微镜当前的成像方法,然后针对AFM在高速扫描下成像误差大的缺点,提出了一种基于压电扫描管动态特性的改进成像方法,并从理论上对这种成像方法的性能进行了分析,论文最后利用实验数据验证了本文提出的成像方法的性能。

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