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外磁场对等离子体浸没离子注入绝缘材料表面改性技术的影响

田立成  石红  张天平  李娟  杨生胜  
【摘要】:在航天领域广泛使用的绝缘材料因特殊的空间环境和材料本身物理特性决定了有必要对其进行表面改性处理,等离子体浸没离子注入绝缘材料表面改性技术可以优化空间材料的某些物理特性。本文通过建立一维自洽的流体模型计算了到达绝缘材料表面的离子能量和电荷密度,并获得了不同的外磁场对绝缘材料表面离子能量分布和电荷密度的影响。研究发现,外磁场的大小和入射角方向对与绝缘材料表面平行和垂直方向的离子能量、离子能量分布有着显著影响,但其对绝缘材料表面电荷密度的影响较小。最后,计算了离子入射偏移角,并发现外磁场对其影响明显。

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