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碳纳米管场发射显示器件残余气体分析

王金婵  张晓兵  雷威  肖梅  崔云康  毛福明  
【摘要】:本文研究碳纳米管场致发射显示器件(CNT-FED)中残余气体的成分,观察到主要的气体成分为 H2,CH4,CO,Ar和CO2,都是电真空器件中可能存在的主要气体。同时为了得到各种气体成分的来源,还研究了碳纳米管场发射显示器件工作状态下的放气情况。

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