Au-MgF_2复合纳米颗粒薄膜的制备和微结构

【摘要】：用射频磁控共溅射法制备了Au体积分数分别为6%、15%、25%、40%、50%和60%的Au-MgF2复合纳米颗粒薄膜。用X射线衍射、透射电镜、X射线光电子能谱对薄膜的微结构和组分进行了测试分析,分析结果表明:制备的Au-MgF2复合纳米颗粒薄膜由fcc-Au晶态纳米微粒镶嵌于主要为非晶态的MgF2陶瓷基体中构成,当Au体积百分含量由15%增至60%时,其平均晶粒尺寸由5.1nm增大到21.2nm,晶格常数由3.9984?增大到4.0743?;随Au体积百分含量由6%增至50%,其颗粒平均粒径则由9.8nm增至21.4nm。名义组分为vol.60%Au-MgF2样品中Au的体积百分含量约为62.6%,与设计值基本一致。