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磁控靶材料对极低气压下RF-UBM金属等离子体特性的影响

于伟东  廖家轩  夏立芳  柳襄怀  王曦  
【摘要】:本文采用朗缪尔探头法和台阶仪法相结合对射频增强非平衡磁控溅射(RF-UBM)产生的金属等离子体的特性进行了测定,主要测量了不同靶材下金属粒子的沉积速率和金属等离子体的离化率。并讨论了对临界起辉点参数的影响。结果表明,溅射产额大的铜靶材的沉积速率较高,且能够在很低的气压下起辉,但离化率低;而溅射产额小的靶材,如铝、钼等,沉积速率较低,但离化率高。

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