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确定薄膜厚度和光学常数的一种新方法

沈伟东  刘旭  叶辉  顾陪夫  
【摘要】:借助于不同的色散公式,运用单纯形法拟合测得的透过率光谱曲线,从而获得薄膜的光学常数和厚度。这种方法不仅简便,而且具有全局优化的能力,不需要输入任何初始值,特别适合厚度薄的薄膜。实验结果表明,测得的光学常数和厚度,与已知的光学常数以及台阶仪测得的结果具有很好的一致性,这在光学薄膜、微电子和MOEMS中具有实际的应用价值。

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