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PECVD法沉积非晶SiO_x薄膜的红外吸收特性研究

何乐年  王德苗  鲁效  
【摘要】:用富里叶红外光谱(FT-IR)测试分析了等离子体化学气相沉积法(PECVD)沉积的非晶SxOx(0x2.0)薄膜中的Si-O-Si伸缩振动模与氧含量x的关系。Si-O-Si伸缩振动模在1000cm~(-1)和1150cm~(-1)有两个吸收峰。1000cm~(-1)和1150cm~(-1)吸收强度之和Isum与薄膜中的Si原子密度Nsi之比Isum/Nsi,在x=0~2.0的范围内和x成正比。求得比例系数Asio(Si-O-Si谐振子强度的倒数)为1.48×10~(19)cm~(-1)用Asio可快速简便地求a-SiOx膜中的氧含量。

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