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红外激光局部加热温度场的有限元模拟

周宏  赖建军  邓谦  易新建  刘胜  
【摘要】:正温度场是微系统领域中热键合技术的一个关键参量。在激光局部加热键合工程中通过控制激光键合参量可以获得受约束的局部高温分布而芯片整体保持低温。本文采用有限元分析方法,理论模拟了高斯激光光束作用在硅和玻璃上加热产生的温度场和热影响区随时间和空间的分布。模

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