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微型一体化恒温红外传感器

曾文富  
【摘要】:采用微电子学工艺在Al2O3基片的上制作具有加热、致冷和温敏三种功能的微型热电芯片,在该芯片上表面键合了外来半成品红外传感器芯片,经过特殊封装后成为具有恒温功能的红外传感器。该传感器的实际工作温度可以低于自然环境温度20℃左右,并且可以在设定的温度下恒温,恒温精度取决于外部控制电路。这种红外传感器具有较高的信噪比和工作稳定性,在红外摄像和夜视等装置里有广泛用途。根据它的结构和功能,还可用制作成其它自恒温器件.包括高精度的晶振、高精度的声表面波器件等。

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