收藏本站
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

等离子体表面改性提高Cu/SiC:H/SiOC:H多层膜系界面结合强度和热稳定性研究

刘波  杨吉军  汪渊  徐可为  
【摘要】:正纳器件Cu互连结构体中Cu/SiC:H/SiOC:H多层膜系的界面结合性能及热稳定性是目前研究的热点和重点问题之一。由于Cu线与介电阻挡层(SiCN:H、SiC:H等)两者成份迥异所导致机械性能、表面能、界面能和热膨胀系数的差异直接关系到两者的兼容性和体系可靠

知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 董立闽;郭霞;渠红伟;邹德恕;廉鹏;邓军;沈光地;;AlGaAs湿法氧化的热稳定性研究[J];激光与红外;2006年09期
2 闫建成;何智兵;阳志林;陈志梅;唐永建;韦建军;;玻璃微球表面辉光等离子体聚合物涂层的热稳定性研究[J];物理学报;2010年11期
3 李建华;林建明;魏永聪;朱国清;许承晃;;碱卤晶体色心的形成及热稳定性[J];华侨大学学报(自然科学版);1984年01期
4 张酣,赵勇,刘双怀,何振辉,陈祖耀,钱逸泰,张其瑞;YBa_2Cu_(3-x)Zn_xO_(7-y)体系的超导电性和热稳定性[J];低温物理学报;1989年04期
5 冯玉清,侯利娜,朱涛,姚淑德,詹文山;具有纳米氧化层的磁性隧道结的热稳定性研究[J];物理学报;2005年09期
6 戚玉敏,崔春翔,申玉田,刘双进,袁学敏;钛酸钾晶须的高温热稳定性[J];硅酸盐学报;2005年10期
7 张军伟;冯斌;周忆;王时龙;向勇;;大口径光学元件环境热稳定性的有限元分析[J];强激光与粒子束;2007年08期
8 郑伟;余建华;祝强;;调Q频率对半导体侧向抽运固体激光器热稳定性的影响[J];红外与激光工程;2007年05期
9 李兴鳌;杨建平;左安友;高雁军;袁作彬;任山令;李永涛;;基底温度对直流磁控溅射制备氮化铜薄膜的影响研究[J];材料导报;2010年04期
10 闫建成;何智兵;阳志林;张颖;唐永建;韦建军;;射频功率对辉光放电聚合物结构和性能的影响[J];物理学报;2011年03期
11 丁宇清;曾飞;谷宇;耿魁伟;潘峰;;斜离子束辅助沉积对Co_(30)Nb_(70)薄膜结构及其热稳定性的影响[J];真空科学与技术学报;2006年01期
12 陈庆永;邵明辉;姜宏伟;郑鹉;王艾玲;;不同缓冲层和保护层对NiFe/PtMn双层膜磁性的影响[J];功能材料与器件学报;2006年04期
13 杨小王;陆绍荣;虞锦洪;吴兵;;新型酯类环氧液晶的合成及应用[J];高分子材料科学与工程;2008年02期
14 周浪;周耐根;宋照东;;纳米晶柱热稳定性研究[J];金属学报;2008年01期
15 张晓青;黄金峰;王飞鹏;夏钟福;;氟聚合物压电驻极体的压电性及其电荷的动态行为[J];物理学报;2008年03期
16 沟引宁;黄楠;孙鸿;;C/C多层类金刚石薄膜的热稳定性研究[J];真空科学与技术学报;2008年06期
17 陈柳青;刘旭光;许慧侠;王华;许并社;;一种喹啉类镓配合物的表征及发光性能研究[J];功能材料;2009年01期
18 潘书万;亓东峰;陈松岩;李成;黄巍;赖虹凯;;Si(100)表面Se薄膜生长及其在Ti/Si欧姆接触中的应用[J];物理学报;2011年09期
19 刘春荣;刘玲;;砷化镓等离子体氧化膜的组分与退火效应[J];安徽大学学报(自然科学版);1988年03期
20 杨伟毅;类金刚石膜的电子能谱(XAES,XPS)研究[J];真空科学与技术;1992年06期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 刘波;杨吉军;汪渊;徐可为;;等离子体表面改性提高Cu/SiC:H/SiOC:H多层膜系界面结合强度和热稳定性研究[A];第十四届全国核物理大会暨第十届会员代表大会论文集[C];2010年
2 张广安;吴志国;范晓彦;闫鹏勋;;直流磁控溅射制备Cu3N薄膜及其热稳定的影响[A];第十六届全国半导体物理学术会议论文摘要集[C];2007年
3 唐开勇;崔辉;毛用泽;;杂质在LiF:Mg,Cu,P中的作用[A];全国第六届核仪器及其应用学术会议论文集[C];2007年
4 汪洪海;郑启光;丘军林;熊贵光;田德成;;激光熔蚀反应淀积AlN薄膜残余应力及热稳定性的研究[A];湖北省激光学会论文集[C];2000年
5 张维萍;韩秀文;刘秀梅;包信和;郭新闻;王祥生;;纳米HZSM-5分子筛热稳定性的固体核磁研究[A];第十一届全国波谱学学术会议论文摘要集[C];2000年
6 申颖;庄卫东;罗新宇;刘元红;何华强;;氮化物红色荧光粉的温度特性及劣化机理研究[A];第十二届全国LED产业研讨与学术会议论文集[C];2010年
7 胡作启;;复合CrCO-Ti保护薄膜的热稳定性研究[A];陶瓷——金属封接与真空开关管用管壳技术进步专辑[C];2007年
8 张晓青;黄金峰;王飞鹏;夏钟福;;人工微结构氟聚合物压电功能膜的制备和表征[A];第二届全国压电和声波理论及器件技术研讨会摘要集[C];2006年
9 周芳;戴守愚;方炎;;荧光多晶材料Y_2O_3:Eu液氨温区的Raman谱分析[A];第十四届全国光散射学术会议论文摘要集[C];2007年
10 张洪杰;于江波;周亮;郑佑轩;梁玉军;;新型稀土配合物电致发光性能的研究[A];第五届全国稀土发光材料学术研讨会论文摘要集[C];2005年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 邱勋林;PP孔洞膜和PEN非孔洞膜的驻极体性质[D];同济大学;2006年
2 厉彦忠;超导线及其多孔涂层在超流液氦内的传热性能[D];西安交通大学;1995年
3 梁兴勃;硅基纳米金刚石膜生长及其发光器件[D];浙江大学;2008年
4 汤晨毅;REBCO液相外延中的微结构控制以及薄膜热稳定性的研究[D];上海交通大学;2009年
5 黄烽;新型功能光学薄膜的磁控溅工艺及物性研究[D];中国科学技术大学;2009年
6 辛煜;微波ECRCVD制备a-C:F:H薄膜的结构与性能研究[D];苏州大学;2002年
7 张可;Fe基和Co基非晶合金的形成能力、稳定性及磁阻抗效应[D];吉林大学;2007年
8 马楠;铜(铌)掺杂氮化铁膜与Fe-N/Si-N多层膜的制备和表征[D];吉林大学;2008年
9 徐茂梁;高效有机电致磷光材料的合成、光电性能及器件[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2005年
10 唐可;超高密度图案化磁记录介质中偶极作用与热辅助磁化研究[D];电子科技大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 张云芳;PECVD法制备a-C:F:N薄膜的结构和稳定性研究[D];中南大学;2005年
2 朱庭良;疏水性SiO_2气凝胶与Cu掺杂SiO_2复合气凝胶的制备及其性能研究[D];陕西师范大学;2009年
3 陈庆永;NiFe/PtMn系统中交换偏置现象的研究[D];首都师范大学;2006年
4 田维;Ti/Al和Ti/SiO_2/Al/SiO_2软X射线光学多层膜的结构与热稳定性研究[D];天津大学;2008年
5 金华;通过XPS对Hf为主要成分的High-k物质的热稳定性研究[D];延边大学;2003年
6 杨文华;Nd-R-Fe-Al(R=Dy,La or Y)大块非晶合金的磁学性能的研究[D];吉林大学;2006年
7 李岩;种子层和反铁磁层厚度对NiFe/PtMn双层膜交换偏置的形成及热稳定性的影响[D];首都师范大学;2006年
8 吕晶;大气环境下Ag薄膜热稳定性及其改善的研究[D];福建师范大学;2008年
9 王璇;YBCO薄膜面内取向和热稳定性关系的研究[D];上海交通大学;2009年
10 汤敏敏;化学改性的聚丙烯孔洞驻极体膜的储电性及压电性[D];同济大学;2007年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978