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温度条件对锆钒薄膜结构的影响

刘锦华  姚冰  郝万立  
【摘要】:正薄膜生长过程对于薄膜结构的形成十分重要。其中的温度条件不仅影响薄膜界面处的形核和生长,而且将影响晶体的排列和缺陷的形成。实验中为了能够得到膜层成分和结构满足要求的锆钒合金薄膜,利用电子束蒸镀法,采用两个蒸发源同时工作,两种元素(锆和钒)同时蒸镀到衬底上,通过控制两种元素的蒸发

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