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ZrO2凝胶色分离光栅的设计和衍射效率测量

周昌鹤  周斌  刘春泽  高波  沈军  倪星元  
【摘要】:正基于计算机辅助设计和微纳米级加工技术发展起来的二元光学器件具有重量轻、易复制、造价低等特点,并能实现传统光学元件难以完成的微小、阵列、集成及任意波面变换等新功能,在现代光学系统中有重要应用。二元光学元件的制作方法很多,标准的二元光学元件制作工艺是由二元掩模经多次图形转印、

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